Почему в полупроводниковой промышленности так широко используются прецизионные гранитные основания?
6 основных причин, по которым полупроводниковая промышленность в значительной степени зависит от прецизионных гранитных оснований. Передовые технологии производства полупроводников (7 нм/3 нм/EUV-литография, контроль подложек, пробные станции, оптическая метрология) требуют точности позиционирования на нанометровом уровне. Металлические материалы (сталь, чугун, алюминий) не способны выдерживать экстремальные условия эксплуатации. Гранит, обладающий уникальными природными комплексными физическими свойствами, стал незаменимым эталонным материалом для изготовления основ. Его основные преимущества…