НОВОСТИ

Компоненты прецизионных приборов из гранита: технология полной калибровки на всех этапах обработки — от сырья до готовой продукции. Применимые продукты: основания координатно-измерительных машин (КИМ), платформы для метрологии полупроводников, станины станков, опорные столы для оптического контроля (высокоточные гранитные компоненты класса 00 / класса 000)Весь процесс делится на семь полных этапов: отбор сырья → черновая обработка и придание формы → выдержка для снятия напряжений и стабилизация…

I. Позиционирование: жесткая рама с гашением вибраций, служащая опорой для высокоскоростных прецизионных автоматизированных механизмов. Обычные стальные направляющие выполняют лишь функцию ведения; интегрированная гранитная линейная направляющая объединяет в одно целое направляющую поверхность, основание оборудования и поперечную балку. Она является основой для высокоскоростных линейных двигателей, портальной автоматизации, оптического контроля и оборудования для упаковки полупроводников. Одновременно она несет четыре…

Всесторонний анализ прецизионной обработки крупных гранитных блоков и ручного шлифования на наноуровне I. Основная предпосылка: почему гранит выбирают в качестве эталона точности. Природные физические свойства гранита составляют основу для достижения наноточности: чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения, практически отсутствующее изменение размеров в условиях постоянной температуры; отсутствие внутренних металлических напряжений, устойчивость к ржавчине и немагнитность; плотная и однородная текстура,…

Области применения прецизионных керамических оснований из карбида кремния (включая основания со встроенной системой водяного охлаждения) Основания из карбида кремния, обладающие пятью основными преимуществами — высокой удельной жесткостью, высокой теплопроводностью, низким тепловым расширением, износостойкостью и чистотой, а также возможностью интеграции каналов водяного охлаждения — заменяют гранит, чугун, алюминиевые сплавы и керамику из оксида алюминия. Они в основном используются в нанометровом сверхточном оборудовании,…

Область применения Тип изделия Основные показатели точности (опорная поверхность) Показатели тепловых характеристик Показатели механической прочности и виброустойчивости Основные требования к применению Передовые литографические установки (EUV / ArF с погружением) Интегрированное основание установки из SiC с водяным охлаждением / основание стола ретикула Плоскостность ≤0,05 мкм/м; Прямолинейность ≤0,03 мкм/м; Перпендикулярность ≤0,05 мкм/м; Шероховатость поверхности Ra ≤0,01 мкм; Теплопроводность ≥180 Вт/(м·К)Коэффициент линейного теплового расширения ≈3,8×10⁻⁶/℃. Перепад температур по всей площади…

Почему керамические детали из карбида кремния являются ключевым элементом прецизионного оборудования следующего поколения В условиях развития высокотехнологичного прецизионного оборудования следующего поколения, такого как EUV-литография и передовые технологии литографии, полупроводниковое оборудование с технологическим процессом 3 нм и менее, сверхточная оптика, вакуумная метрология и высокоскоростные нанодвижущиеся платформы, традиционные материалы — гранит, алюминиевые сплавы, сталь и корундная керамика — достигли пределов своих возможностей. Передовая керамика на основе карбида кремния (SiC), обладающая непревзойденными…

Основная причина высоких требований к точности гранитных оснований полупроводникового оборудования заключается в том, что производство полупроводников относится к области наноразмерной прецизионной обработки и контроля (литография, метрология, измерительные станции, нанесение покрытий, режущее оборудование), где минимальные размеры элементов достигают 2 и 3 нм. Гранитное основание служит опорной несущей матрицей для всего станка, на котором размещены все оптические, приводные и измерительные…

Полное руководство по выбору гранитных столов, предназначенных для метрологии и калибровки. Основные требования к столам для метрологии и калибровки: долговременная стабильность размеров, чрезвычайно низкое тепловое расширение, минимальная деформация, прослеживаемая плоскостность, гашение вибраций и износостойкость. Выбор осуществляется в соответствии с 7-этапным процессом отбора: “Материал → Класс точности → Размер и толщина → Процесс старения → Опорная основа → Функциональные…

Диапазон точности плоскостности гранитных станочных оснований с резьбовыми вставками: в соответствии с национальным стандартом GB/T 20428-2006 “Гранитные плоскостные плиты” классификация осуществляется по 4 классам точности. В связи с небольшим увеличением сложности обработки, вызванным процессами сверления и установки предварительно вмонтированных резьбовых вставок из нержавеющей стали, отрасль фактически может стабильно достигать следующих стандартов (проверено…

Полное руководство по выбору высокоточных гранитных станочных оснований с резьбовыми вставками. Следуйте 7-этапному процессу отбора: Сценарий применения → Материал → Точность → Размеры и толщина → Конфигурация резьбовых вставок → Опорная конструкция → Технология производства, чтобы с первого раза избежать таких распространенных ошибок, как деформация отверстий, отрыв вставок, недостаточная точность и недостаточная жесткость. I. Шаг…