НОВОСТИ

Области применения прецизионных керамических оснований из карбида кремния (включая основания со встроенной системой водяного охлаждения) Основания из карбида кремния, обладающие пятью основными преимуществами — высокой удельной жесткостью, высокой теплопроводностью, низким тепловым расширением, износостойкостью и чистотой, а также возможностью интеграции каналов водяного охлаждения — заменяют гранит, чугун, алюминиевые сплавы и керамику из оксида алюминия. Они в основном используются в нанометровом сверхточном оборудовании,…

Область применения Тип изделия Основные показатели точности (опорная поверхность) Показатели тепловых характеристик Показатели механической прочности и виброустойчивости Основные требования к применению Передовые литографические установки (EUV / ArF с погружением) Интегрированное основание установки из SiC с водяным охлаждением / основание стола ретикула Плоскостность ≤0,05 мкм/м; Прямолинейность ≤0,03 мкм/м; Перпендикулярность ≤0,05 мкм/м; Шероховатость поверхности Ra ≤0,01 мкм; Теплопроводность ≥180 Вт/(м·К)Коэффициент линейного теплового расширения ≈3,8×10⁻⁶/℃. Перепад температур по всей площади…

Почему керамические детали из карбида кремния являются ключевым элементом прецизионного оборудования следующего поколения В условиях развития высокотехнологичного прецизионного оборудования следующего поколения, такого как EUV-литография и передовые технологии литографии, полупроводниковое оборудование с технологическим процессом 3 нм и менее, сверхточная оптика, вакуумная метрология и высокоскоростные нанодвижущиеся платформы, традиционные материалы — гранит, алюминиевые сплавы, сталь и корундная керамика — достигли пределов своих возможностей. Передовая керамика на основе карбида кремния (SiC), обладающая непревзойденными…

Основная причина высоких требований к точности гранитных оснований полупроводникового оборудования заключается в том, что производство полупроводников относится к области наноразмерной прецизионной обработки и контроля (литография, метрология, измерительные станции, нанесение покрытий, режущее оборудование), где минимальные размеры элементов достигают 2 и 3 нм. Гранитное основание служит опорной несущей матрицей для всего станка, на котором размещены все оптические, приводные и измерительные…

Полное руководство по выбору гранитных столов, предназначенных для метрологии и калибровки. Основные требования к столам для метрологии и калибровки: долговременная стабильность размеров, чрезвычайно низкое тепловое расширение, минимальная деформация, прослеживаемая плоскостность, гашение вибраций и износостойкость. Выбор осуществляется в соответствии с 7-этапным процессом отбора: “Материал → Класс точности → Размер и толщина → Процесс старения → Опорная основа → Функциональные…

Диапазон точности плоскостности гранитных станочных оснований с резьбовыми вставками: в соответствии с национальным стандартом GB/T 20428-2006 “Гранитные плоскостные плиты” классификация осуществляется по 4 классам точности. В связи с небольшим увеличением сложности обработки, вызванным процессами сверления и установки предварительно вмонтированных резьбовых вставок из нержавеющей стали, отрасль фактически может стабильно достигать следующих стандартов (проверено…

Полное руководство по выбору высокоточных гранитных станочных оснований с резьбовыми вставками. Следуйте 7-этапному процессу отбора: Сценарий применения → Материал → Точность → Размеры и толщина → Конфигурация резьбовых вставок → Опорная конструкция → Технология производства, чтобы с первого раза избежать таких распространенных ошибок, как деформация отверстий, отрыв вставок, недостаточная точность и недостаточная жесткость. I. Шаг…

Высокоточная станина станка из гранита с резьбовыми вставками I. Основное описание изделия. Станина изготовлена из плотного черного натурального гранита (преимущественно «Цзинань Грин») методом цельной шлифовки и формовки; на рабочей поверхности, боковых сторонах и дне станины заранее вмонтированы резьбовые вставки из нержавеющей стали (резьбовые втулки). Заменяя чугунные станочные станины, она служит опорной основой для…

Full Precision Assurance Solution for Granite Machine Tool Bases with Threaded Inserts Common causes of precision failure: internal stress of the stone, stress from embedded inserts, insufficient grinding process, environmental temperature changes, reversed processing sequence, loose inserts, and insufficient rigidity. By controlling the entire process from raw materials → embedding process → grinding and machining…

I. Core Material and Innate AdvantagesMainly using Jinan Green fine-grained black granite, naturally aged for hundreds of millions of years with no internal stress, offering outstanding advantages compared to cast iron reference plates:Ultra-low thermal expansion: Thermal expansion coefficient 2.5~4.6×10⁻⁶/℃, almost no deformation under temperature changes, suitable for constant temperature metrology, optics, and semiconductor scenarios;High rigidity…