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Domaines d'application complets des socles de précision en céramique de carbure de silicium (y compris les socles intégrant un système de refroidissement par eau) Les bases en carbure de silicium, qui présentent cinq avantages majeurs — rigidité spécifique élevée, conductivité thermique élevée, faible dilatation thermique, résistance à l’usure et propreté, ainsi que la possibilité d’intégrer des canaux de refroidissement à l’eau —, remplacent le granit, la fonte, les alliages d’aluminium et les céramiques à base d’alumine. Elles sont principalement utilisées dans les équipements d’ultra-précision à l’échelle nanométrique,…

Domaine d'application Type de produit Indicateurs clés de précision (surface de référence) Indicateurs de performances thermiques Indicateurs de résistance mécanique et aux vibrations Exigences essentielles de l'application Machines de lithographie de pointe (EUV / immersion ArF) Base de machine en SiC intégrée et refroidie à l'eau / base de la platine de réticule Planéité ≤ 0,05 μm/m Rectitude ≤ 0,03 μm/m Perpendicularité ≤ 0,05 μm/m Rugosité de surface Ra ≤ 0,01 μm Conductivité thermique ≥ 180 W/(m·K)Coefficient de dilatation thermique linéaire ≈3,8×10⁻⁶/℃Différence de température sur l’ensemble de la surface…

Pourquoi les composants en céramique de carbure de silicium constituent la clé essentielle des machines de précision de nouvelle génération Face aux équipements de précision haut de gamme de nouvelle génération, tels que la lithographie EUV et avancée, les équipements pour semi-conducteurs de 3 nm et moins, l’optique d’ultra-précision, la métrologie sous vide et les plateformes de nano-mouvement à grande vitesse, les matériaux traditionnels tels que le granit, les alliages d’aluminium, l’acier et les céramiques à base d’alumine ont atteint leurs limites en termes de performances. Les céramiques avancées en carbure de silicium (SiC), grâce à leurs propriétés exceptionnelles…

La raison principale des exigences de haute précision imposées aux socles en granit des équipements pour semi-conducteurs : la fabrication de semi-conducteurs relève de l'usinage et de l'inspection de précision à l'échelle nanométrique (lithographie, métrologie, stations de test, revêtement, équipements de découpe), avec des tailles de motifs minimales atteignant 2 nm et 3 nm. La base en granit sert de matrice de référence porteuse pour l'ensemble de la machine, avec tous les systèmes optiques, de mouvement et de mesure…

Guide complet de sélection des tables en granit destinées à la métrologie et à l’étalonnage. Exigences fondamentales pour les tables de métrologie et d’étalonnage : stabilité dimensionnelle à long terme, dilatation thermique extrêmement faible, déformation minimale, planéité traçable, amortissement des vibrations et résistance à l’usure. La sélection s'effectue selon un processus de sélection en 7 étapes : “ Matériau → Niveau de précision → Dimensions et épaisseur → Processus de vieillissement → Socle de support → Fonctionnalités…

Plage de précision de planéité des socles de machines-outils en granit avec inserts filetés : mise en œuvre de la norme nationale GB/T 20428-2006 “ Plaques de surface en granit ”, qui prévoit 4 classes de précision. En raison de la légère augmentation de la difficulté d’usinage liée aux processus de perçage et d’encastrement des inserts filetés en acier inoxydable pré-encastrés, l’industrie est en réalité capable d’atteindre de manière stable les normes suivantes (testées…

Guide complet de sélection des socles de machines-outils en granit de haute précision avec inserts filetés. Suivez le processus de sélection en 7 étapes : Cas d'utilisation → Matériau → Précision → Dimensions et épaisseur → Configuration des inserts filetés → Structure de support → Procédé de fabrication afin d'éviter d'un seul coup les écueils courants tels que la déformation des alésages, le détachement des inserts, une précision insuffisante et une rigidité inadéquate. I. Étape…

Socle de machine-outil en granit de haute précision avec inserts filetés I. Description générale du produit : Fabriqué à partir de granit naturel noir dense (principalement du « Jinan Green ») par rectification et façonnage monobloc, ce socle est doté d’inserts filetés en acier inoxydable (manchons filetés) pré-encastrés sur la surface de travail, les côtés et la face inférieure. Remplaçant les bancs de machines-outils en fonte, elle sert de base de référence pour…

Full Precision Assurance Solution for Granite Machine Tool Bases with Threaded Inserts Common causes of precision failure: internal stress of the stone, stress from embedded inserts, insufficient grinding process, environmental temperature changes, reversed processing sequence, loose inserts, and insufficient rigidity. By controlling the entire process from raw materials → embedding process → grinding and machining…

I. Core Material and Innate AdvantagesMainly using Jinan Green fine-grained black granite, naturally aged for hundreds of millions of years with no internal stress, offering outstanding advantages compared to cast iron reference plates:Ultra-low thermal expansion: Thermal expansion coefficient 2.5~4.6×10⁻⁶/℃, almost no deformation under temperature changes, suitable for constant temperature metrology, optics, and semiconductor scenarios;High rigidity…