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Campos de aplicación completos de las bases de precisión de cerámica de carburo de silicio para equipos (incluidas las bases integradas con refrigeración por agua) Las bases de carburo de silicio, gracias a sus cinco ventajas fundamentales —alta rigidez específica, alta conductividad térmica, baja dilatación térmica, resistencia al desgaste y pureza, y la capacidad de integrar canales de refrigeración por agua—, sustituyen al granito, al hierro fundido, a las aleaciones de aluminio y a la cerámica de alúmina. Se utilizan principalmente en equipos de ultraprecisión a escala nanométrica,…

Campo de aplicación Tipo de producto Indicadores clave de precisión (superficie de referencia) Indicadores de rendimiento térmico Indicadores de resistencia mecánica y a las vibraciones Requisitos fundamentales de la aplicación Máquinas de litografía avanzada (EUV / inmersión en ArF) Base de la máquina de SiC integrada y refrigerada por agua / Base de la plataforma del retículo: Planitud ≤0,05 μm/m; Rectitud ≤0,03 μm/m; Perpendicularidad ≤0,05 μm/m; Rugosidad superficial Ra ≤0,01 μm; Conductividad térmica ≥180 W/(m·K)Coeficiente de expansión térmica lineal ≈3,8×10⁻⁶/℃. Diferencia de temperatura en toda la superficie…

Por qué los componentes cerámicos de carburo de silicio son la clave fundamental para la maquinaria de precisión de próxima generación Ante los equipos de precisión de alta gama de próxima generación, como la litografía EUV y avanzada, equipos semiconductores de 3 nm y inferiores, óptica de ultraprecisión, metrología al vacío y plataformas de nanomovimiento de alta velocidad, los materiales tradicionales como el granito, las aleaciones de aluminio, el acero y las cerámicas de alúmina han alcanzado sus límites de rendimiento. Las cerámicas avanzadas de carburo de silicio (SiC), con sus excelentes…

La razón fundamental de los elevados requisitos de precisión de las bases de granito de los equipos para semiconductores. La fabricación de semiconductores se enmarca en el ámbito del procesamiento y la inspección de precisión a escala nanométrica (litografía, metrología, estaciones de sonda, recubrimiento, equipos de corte), con tamaños mínimos de las características que alcanzan los niveles de 2 nm y 3 nm. La base de granito actúa como matriz de referencia que soporta la carga de toda la máquina, con todos los componentes ópticos, de movimiento y de medición…

Guía completa de selección de mesas de granito destinadas a la metrología y la calibración. Requisitos fundamentales para las mesas de metrología y calibración: estabilidad dimensional a largo plazo, expansión térmica extremadamente baja, deformación mínima, planitud trazable, amortiguación de vibraciones y resistencia al desgaste. La selección sigue un proceso de selección de 7 pasos: “Material → Grado de precisión → Tamaño y espesor → Proceso de envejecimiento → Base de apoyo → Funcional…

Rango de precisión de planitud de las bases de granito para máquinas-herramienta con insertos roscados: De acuerdo con la norma nacional GB/T 20428-2006 “Placas de superficie de granito”, se dividen en 4 grados de precisión. Debido al ligero aumento de la dificultad de mecanizado que suponen los procesos de taladrado e incrustación de los insertos roscados de acero inoxidable preincrustados, la industria puede, de hecho, cumplir de forma estable las siguientes normas (probadas…

Guía completa de selección de bases de granito de alta precisión para máquinas-herramienta con insertos roscados. Sigue el proceso de selección de 7 pasos: Escenario de aplicación → Material → Precisión → Dimensiones y espesor → Configuración de los insertos roscados → Estructura de soporte → Proceso del fabricante para evitar de un solo golpe errores comunes como la deformación de los orificios, el desprendimiento de los insertos, una precisión insuficiente y una rigidez inadecuada. I. Paso…

Base de granito de alta precisión para máquinas-herramienta con insertos roscados I. Definición básica del producto: Fabricada en granito natural negro denso (principalmente «Jinan Green») mediante rectificado y conformado integrales, la base cuenta con insertos roscados de acero inoxidable (manguitos roscados) preinstalados en la superficie de trabajo, los laterales y la parte inferior. Al sustituir a las bancadas de hierro fundido de las máquinas-herramienta, sirve como base de referencia para…

Full Precision Assurance Solution for Granite Machine Tool Bases with Threaded Inserts Common causes of precision failure: internal stress of the stone, stress from embedded inserts, insufficient grinding process, environmental temperature changes, reversed processing sequence, loose inserts, and insufficient rigidity. By controlling the entire process from raw materials → embedding process → grinding and machining…

I. Core Material and Innate AdvantagesMainly using Jinan Green fine-grained black granite, naturally aged for hundreds of millions of years with no internal stress, offering outstanding advantages compared to cast iron reference plates:Ultra-low thermal expansion: Thermal expansion coefficient 2.5~4.6×10⁻⁶/℃, almost no deformation under temperature changes, suitable for constant temperature metrology, optics, and semiconductor scenarios;High rigidity…