Гранит для полупроводникового оборудования: термическая стабильность и точность
Специализированный гранит для полупроводникового оборудования: всесторонний анализ термической стабильности и геометрической точности. В литографии полупроводников, контроле качества пластин, пробных станциях, установках для склеивания кристаллов и оптическом оборудовании AOI требуется долгосрочный стабильный эталон в нанометровом масштабе. Благодаря чрезвычайно низкому тепловому расширению, отсутствию временной ползучести и сверхвысокой точности плоскостности гранит стал единственным материалом для изготовления структурных оснований…


