الجرانيت المستخدم في معدات أشباه الموصلات: الاستقرار الحراري والدقة
الجرانيت المتخصص لمعدات أشباه الموصلات: تحليل شامل للاستقرار الحراري والدقة الهندسية — تتطلب عمليات الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات، وفحص الرقائق، ومحطات الفحص، وآلات ربط الرقائق، والمعدات البصرية لتفتيش التوافق التلقائي (AOI) مرجعًا مستقرًا على المدى الطويل على نطاق النانومتر. وبفضل التمدد الحراري المنخفض للغاية، والانزلاق الصفر الذي لا يتأثر بالزمن، ودقة المسطح المرجعية الفائقة، أصبح الجرانيت المادة الأساسية الهيكلية الوحيدة…
