Granito para equipos de semiconductores: estabilidad térmica y precisión
Granito especializado para equipos de semiconductores: un análisis exhaustivo de la estabilidad térmica y la precisión geométrica. La litografía de semiconductores, la inspección de obleas, las estaciones de sonda, las máquinas de unión de chips y los equipos ópticos de inspección automática (AOI) requieren una referencia estable a largo plazo a escala nanométrica. Gracias a su expansión térmica extremadamente baja, a la ausencia total de fluencia dependiente del tiempo y a su precisión de referencia de planitud ultraalta, el granito se ha convertido en el único material de base estructural…


