Le granit pour les équipements de semi-conducteurs : stabilité thermique et précision
Granit spécialisé pour les équipements de semi-conducteurs : analyse approfondie de la stabilité thermique et de la précision géométrique. La lithographie des semi-conducteurs, l’inspection des plaquettes, les stations de test, les machines de collage de puces et les équipements optiques AOI nécessitent une référence stable à long terme à l’échelle nanométrique. Grâce à sa dilatation thermique extrêmement faible, à son fluage nul en fonction du temps et à sa précision de référence ultra-élevée en matière de planéité, le granit est devenu le seul matériau de base structurel…