Какие методы позволяют ещё больше повысить эффективность виброизоляции прецизионной 3D-платформы?
Комплексное решение для повышения эффективности виброизоляции прецизионных 3D-платформ, состоящее из четырёх основных компонентов: подавление вибраций основного корпуса, система виброизоляционных опор, подавление внутренних вибраций платформы и оптимизация условий эксплуатации, охватывающие общие решения по модификации и подбору гранитных прецизионных платформ перемещения, пригодных для контроля на микро- и субмикронном уровне, а также для полупроводникового и оптического оборудования. I. Оптимизация материала основания (снижение передачи собственных вибраций…)
