Quelles méthodes permettent d'améliorer encore l'efficacité de l'isolation antivibratoire d'une plate-forme de précision 3D ?
Solution complète pour améliorer les performances d'isolation vibratoire des plateformes de précision 3D. Elle s'articule autour de quatre axes principaux : réduction des vibrations du corps de base, système de support d’isolation, suppression des vibrations internes de la plate-forme et optimisation environnementale/opérationnelle. Elle couvre les solutions générales de modification et de sélection pour les plates-formes de mouvement de précision en granit, adaptées à l’inspection au niveau micrométrique et submicrométrique, aux semi-conducteurs et aux équipements optiques. I. Optimisation du matériau de base (réduction de la transmission des vibrations propres…)
