¿Qué métodos pueden mejorar aún más el efecto de aislamiento de vibraciones de una plataforma de precisión 3D?
Solución integral para mejorar el rendimiento del aislamiento de vibraciones de las plataformas de precisión 3D. Se divide en cuatro aspectos principales: reducción de la vibración del cuerpo base, sistema de soporte de aislamiento, supresión de la vibración interna de la plataforma y optimización ambiental y operativa, que abarca soluciones generales de modificación y selección para plataformas de movimiento de precisión de granito, adecuadas para inspecciones a nivel micrométrico y submicrométrico, así como para equipos semiconductores y ópticos. I. Optimización del material base (reducción de la transmisión de la vibración propia…