Quelles sont les difficultés de traitement des bases granitiques pour les équipements semi-conducteurs ?
La micro-qualité de la surface des bases en granit des équipements semi-conducteurs, caractérisée par une rugosité à l'échelle nanométrique, l'absence de micro-défauts, une très grande propreté, des propriétés non magnétiques et sans contamination, ainsi qu'une micro-morphologie uniforme, détermine directement le rendement des plaquettes et la stabilité à long terme de l'équipement. I. Rugosité de surface (indicateur de base) Surfaces de travail (repères / guides / surfaces sous vide) : Ra ≤ 0,01-0,05 μm (10-50 nm) ; Machines de lithographie haut de gamme / plateformes d'inspection....
