ما هي صعوبات معالجة قواعد الجرانيت لمعدات أشباه الموصلات؟
تحدد الجودة الدقيقة لسطح القواعد الجرانيتية لمعدات أشباه الموصلات، التي تتميز بخشونة متناهية الصغر، وانعدام العيوب الدقيقة، والنظافة الفائقة والنظافة الفائقة للغاية، والخصائص غير المغناطيسية والخالية من التلوث، والتشكيل الدقيق الموحد، بشكل مباشر إنتاجية الرقاقة واستقرار المعدات على المدى الطويل. I. خشونة السطح (المؤشر الأساسي)، أسطح العمل (المعايير/الأدلة/الأسطح الفراغية): Ra ≤ 0.01-0.05 ميكرومتر (10-50 نانومتر)؛ آلات الطباعة الحجرية المتطورة/منصات الفحص...