День: 05/19/2026

Микрокачество поверхности гранитных оснований полупроводникового оборудования, характеризующееся наноразмерной шероховатостью, отсутствием микродефектов, сверхвысокой чистотой, немагнитными и незагрязненными свойствами, а также равномерной микроморфологией, напрямую определяет выход пластин и долгосрочную стабильность оборудования. I. Шероховатость поверхности (основной показатель)Рабочие поверхности (эталоны / направляющие / вакуумные поверхности): Ra ≤ 0,01-0,05 мкм (10-50 нм); Высокотехнологичные литографические машины / инспекционные платформы...

Гранитное основание для оборудования - успешные примеры обработки на заказ (практическое издание) Пример 1: цельное гранитное основание для КИМПрименение продукта:Высокоточное основание для КИМ мостового типа с полыми пазами для снижения веса, несколькими ступенями, монтажными бобышками, поверхностями для крепления направляющих, встроенными резьбовыми вставками и отверстиями для проводки.Проблемы обработки:Тонкостенное углубление большой площади, склонное к сколам и деформации.Требования к перпендикулярности и параллельности 00 класса для...