В области сверхточного производства и метрологии базы оборудования являются не просто простыми опорными конструкциями, а физическими носителями эталонов точности - их производительность напрямую
Натуральный гранит является предпочтительным конструкционным материалом для платформ контроля полупроводников, с широким спектром применения в области вафельного контроля, оптического контроля, измерений на КИМ, AOI/рентгеновского контроля, зондового контроля.
I. Ежедневное обслуживание (ежедневно / по мере использования)Сначала проветрите, затем включите; Сначала выключите, затем отключите газПуск: Стабильный источник газа → Воздухоопорные поплавки
I. Наиболее интуитивные и быстрые суждения (взгляд, прикосновение, толчок)
Классы точности прецизионных пневмоопорных платформ (гранитных пневмоопорных платформ) обычно классифицируются в промышленности по двум системам: точность перемещения и плоская референция.
000 Гранитная платформа с воздушным подшипником Типичное подходящее оборудованиеI. Высокотехнологичное оборудование для производства полупроводников и панелей (основная область)Литографическое оборудованиеЛитографические выравнивающие платформыМашины для инспекции пластин, зонды для пластинПолупроводниковые тонкие
I. Принципы работы и структурный составПринцип работы: Чистый воздух под высоким давлением распыляется через пористый графит/дроссельную заслонку, образуя равномерную воздушную пленку толщиной 5-15 мкм.
I. Основные определения и функцииГранитное основание (рабочий стол портальный/колонный КИМ fraa) служит абсолютным эталоном для измерений, устанавливая стабильную трехмерную систему координат, поддерживая
I. Выбор материала (определяет, будет ли он трескаться и устойчив ли он)Типы материаловПриоритет: Цзинань зеленый, Чжанцю черный (мелкозернистый, однородный, наилучшая устойчивость)Ключевые моменты приемки (обязательно к прочтению для закупки)Нет трещин, нет
I. Предотвращение появления источников: Выбор правильного материала и использование правильного процесса (наиболее важно) Выбор материалаПриоритет отдается мелкозернистому граниту с небольшим количеством трещин и слоев, такому как Jinan
