Dans le domaine de la fabrication et de la métrologie de haute précision, les bases d'équipement ne sont pas de simples structures de soutien, mais les supports mêmes des références de précision - leurs performances étant directement liées à la qualité de l'air, de l'eau et du sol.
Le granit naturel est le matériau structurel préféré pour les plates-formes d'inspection des semi-conducteurs, avec de nombreuses applications matures dans les domaines de l'inspection par frottement, de l'inspection optique, de la mesure CMM, de l'inspection AOI/rayons X, de la sonde, etc.
I. Entretien quotidien (quotidien / par utilisation)Ventiler d'abord, puis allumer ; éteindre d'abord, puis couper le gazDémarrage : Source de gaz stable → Flotteurs de paliers à air
I. Jugements les plus intuitifs et les plus rapides (regarder, toucher, pousser)
Les degrés de précision des plates-formes à coussin d'air de précision (plates-formes à coussin d'air en granit) sont généralement classés dans l'industrie en deux systèmes : la précision du mouvement et la référence planaire.
000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipement typique appropriéI. Équipement haut de gamme pour semi-conducteurs et panneaux (domaine principal)Équipement de lithographie Plates-formes d'alignement de lithographieMachines d'inspection de plaquettes de silicium, machines d'exposition de plaquettes de siliciumMachines d'inspection de plaquettes de silicium (domaine principal)
I. Principes fondamentaux et composition structurellePrincipe de fonctionnement : de l'air propre à haute pression est pulvérisé à travers le graphite poreux/les étranglements pour former un film d'air uniforme de 5 à 15 μm.
I. Définitions et fonctions essentiellesLa base en granit (table de travail, portique, colonne) de la MMT sert de référence absolue pour les mesures, en établissant un système de coordonnées tridimensionnel stable, en soutenant les mesures et en assurant la sécurité de l'utilisateur.
I. Sélection du matériau (détermine s'il y aura des fissures et sa stabilité)Types de matériauxPriorité:Vert de Jinan, Noir de Zhangqiu (grain fin, uniforme, meilleure stabilité)Points clés de l'acceptation (à lire absolument pour l'approvisionnement)Pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures...).
I. Prévention à la source : Choisir le bon matériau et utiliser le bon procédé (le plus critique)Choix du matériauPrioriser le granit à grain fin avec peu de fissures et de couches, tel que le Jinan
