Лидер в области стабильной точности в сфере точного производства: мраморные платформы и линейные двигатели
Лидер в области стабильной точности в сфере высокоточного производства: мраморные платформы и линейные двигатели I. Введение Требования к точности позиционирования в таких областях, как метрология полупроводников, микро- и нанолазерная обработка, оптический контроль и высокотехнологичное автоматизированное оборудование, продолжают снижаться до субмикронного и нанометрового уровней. Для достижения долгосрочной стабильной сверхвысокой точности одного высокопроизводительного приводного компонента явно недостаточно. Линейные…