La référence en matière de précision constante dans la fabrication de précision : les plate-formes en marbre et les moteurs linéaires
Le summum de la précision stable dans la fabrication de précision : plates-formes en marbre et moteurs linéaires I. Introduction Les exigences en matière de précision de positionnement pour la métrologie des semi-conducteurs, l'usinage laser micro-nano, l'inspection optique et les équipements d'automatisation haut de gamme continuent de baisser pour atteindre des niveaux inférieurs au micron et au nanomètre. Pour atteindre une ultra-haute précision stable à long terme, un seul composant d'entraînement haute performance est loin d'être suffisant. Les moteurs linéaires…