El referente en cuanto a precisión estable en la fabricación de precisión: plataformas de mármol y motores lineales
El rey de la precisión estable en la fabricación de precisión: plataformas de mármol y motores lineales I. Introducción: Los requisitos de precisión de posicionamiento para la metrología de semiconductores, el procesamiento láser a escala micro y nanométrica, la inspección óptica y los equipos de automatización de alta gama siguen reduciéndose hasta niveles submicrométricos y nanométricos. Para lograr una precisión ultraalta y estable a largo plazo, un único componente de accionamiento de alto rendimiento dista mucho de ser suficiente. Lineal…