الرائد في مجال الاستقرار والدقة في التصنيع الدقيق: المنصات الرخامية والمحركات الخطية
ملك الدقة المستقرة في التصنيع الدقيق: المنصات الرخامية والمحركات الخطية I. مقدمة: تستمر متطلبات دقة تحديد المواقع في مجالات قياس أشباه الموصلات، والمعالجة بالليزر على المستوى الميكروي والنانوي، والفحص البصري، ومعدات الأتمتة المتطورة في الانخفاض إلى مستويات أقل من الميكرون والنانومتر. ولتحقيق دقة فائقة ومستقرة على المدى الطويل، لا يكفي وجود مكون تشغيل واحد عالي الأداء. المحركات الخطية…