Jour : 06/05/2026

Spécifications de précision d'une plateforme multiaxiale à paliers à air : une précision de l'ordre du nanomètre peut être atteinte¹ Indicateurs de l'ordre du nanomètre (bobine mobile sur socle en granit de grade 000 / réseau nanométrique à moteur linéaire) Précision de positionnement : ±0,05 μm (50 nm) ~ ±0,2 μm (200 nm)Répétabilité : 10 nm à 50 nm. Rectitude mono-axiale : ≤ 0,5 μm/m. Pas minimal : jusqu’à 5 nm². Conditions essentielles de mise en œuvre : Socle : granit noir de Jinan de grade 000, à température constante de 20 ± 1 °C, vieilli et détendu ;Palier à air : palier à air poreux, air…

Plateforme de mouvement de précision multiaxiale à lévitation pneumatique I. Présentation du produit Utilisant du granit naturel de qualité 000/00 comme base de référence, elle intègre une structure à entraînement direct linéaire/à bobine mobile avec lévitation sans contact par palier pneumatique, sans frottement mécanique ni jeu. Associée à un système de commande en boucle fermée à réseau de diffraction, elle forme des systèmes de mouvement de précision multi-axes couplés, tels que XY, XYZ et XYθ. S'appuyant…