هل يمكن أن تصل دقة منصة الحركة الدقيقة متعددة المحاور المزودة بمحامل هوائية إلى مستوى النانومتر؟
مواصفات دقة المنصة متعددة المحاور ذات المحامل الهوائية: يمكن تحقيق دقة على مستوى النانومتر. مؤشرات على مستوى النانومتر (ملف صوتي بقاعدة من الجرانيت من الدرجة 000 / شبكة نانومترية للمحرك الخطي) دقة تحديد الموضع: ±0.05 ميكرومتر (50 نانومتر) ~ ±0.2 ميكرومتر (200 نانومتر)التكرار: 10 نانومتر ~ 50 نانومتر. استقامة المحور الواحد: ≤0.5 ميكرومتر/م. الحد الأدنى لحجم الخطوة: حتى 5 نانومتر². الشروط الأساسية للتنفيذ: القاعدة: جرانيت جينان الأسود من الدرجة 000، درجة حرارة ثابتة 20±1 درجة مئوية، مُعَالج للتقادم وتخفيف التوتر؛محمل هوائي: محمل هوائي مسامي، هواء…
