¿Puede la precisión de una plataforma de movimiento de precisión multieje con cojinetes de aire alcanzar el nivel nanométrico?
Especificaciones de precisión de la plataforma multieje con cojinetes de aire: Se puede alcanzar una precisión a nivel nanométrico¹ Indicadores a nivel nanométrico (bobina móvil sobre base de granito de grado 000 / rejilla nanométrica con motor lineal) Precisión de posicionamiento: ±0,05 μm (50 nm) ~ ±0,2 μm (200 nm)Repetibilidad: 10 nm ~ 50 nm. Rectitud en un solo eje: ≤0,5 μm/m. Tamaño mínimo de paso: hasta 5 nm². Condiciones esenciales para la implementación. Base: granito negro de Jinan de grado 000, temperatura constante de 20 ± 1 ℃, envejecido y sometida a tratamiento de alivio de tensiones;Cojinete neumático: cojinete neumático poroso, aire…
