Spécifications techniques détaillées de la plate-forme de flottation à air pour le granit
Normes applicables : GB/T 20428, ISO 8512-2, DIN 876, ISO 230-1 ; Conditions d'essai : 20 °C ± 1 °C, humidité relative 40%~60%, niveau de vibration VC-E, environnement propre et exempt de poussière Partie 1 : Précision géométrique de la base en granit (surface de référence) Grade de précision Tolérance de planéité (μm par mètre) Rugosité de surface Ra Perpendicularité des surfaces adjacentes Application typique Grade 000 (ultra-précision) ≤ 1,0 ≤ 0,05 μm ≤ 1,5 μm/m Semi-conducteurs, lithographie, platine d’inspection nanométrique Grade 00 (haute précision) ≤ 2,0 ≤ 0,10 μm…