المواصفات الدقيقة لمنصة التعويم الهوائي للجرانيت
المعايير المطبقة: GB/T20428، ISO8512-2، DIN876، ISO230-1؛ ظروف الاختبار: 20℃±1℃، الرطوبة النسبية 40%~60%، درجة الاهتزاز VC-E، بيئة نظيفة خالية من الغبار الجزء 1: الدقة الهندسية للقاعدة الجرانيتية (سطح المعيار المرجعي) درجة الدقة، تفاوت الاستواء (ميكرومتر لكل متر)، خشونة السطح Ra، استقامة السطح المجاور، درجة التطبيق النموذجية 000 (دقة فائقة) ≤1.0 ≤0.05 ميكرومتر ≤1.5 ميكرومتر/متر أشباه الموصلات، الطباعة الحجرية، منصة فحص النانو الدرجة 00 (دقة عالية) ≤2.0 ≤0.10 ميكرومتر…