Especificaciones de precisión de la plataforma de flotación por aire para granito
Normas aplicables: GB/T 20428, ISO 8512-2, DIN 876, ISO 230-1; Condiciones ambientales de ensayo: 20 ℃ ± 1 ℃, HR 40% ~ 60%, grado de vibración VC-E, entorno limpio y libre de polvo. Parte 1: Precisión geométrica de la base de granito (superficie de referencia) Grado de precisión Tolerancia de planitud (μm por metro) Rugosidad superficial Ra Perpendicularidad de las superficies adyacentes Grado de aplicación típico 000 (ultraprecisión) ≤1,0 ≤0,05 μm ≤1,5 μm/m Semiconductores, litografía, platina de inspección nanométrica Grado 00 (alta precisión) ≤2,0 ≤0,10 μm…