Plataforma de movimiento de precisión multieje con suspensión neumática
I. Presentación del producto
Utilizando granito natural de grado 000/00 como base de referencia, incorpora una estructura de accionamiento directo lineal/de bobina móvil con levitación sin contacto mediante cojinete de aire, sin fricción mecánica ni holgura. En combinación con un sistema de control de bucle cerrado por rejilla, forma sistemas de movimiento de precisión multieje interconectados, como XY, XYZ y XYθ. Al utilizar aire comprimido para formar una película de aire a nivel micrométrico que soporta las piezas móviles, alcanza una precisión de posicionamiento a nivel nanométrico y submicrométrico.
II. Estructura central
Base de granito: piedra Qing de Jinan, baja expansión térmica, alta estabilidad, superficie de referencia con precisión de planitud de grado 000/00;
Rieles guía con cojinetes neumáticos: almohadillas flotantes de aire con microporos o orificios pequeños, película de aire de 10 a 15 μm, fricción nula;
Unidad de accionamiento: motor lineal sin hierro/motor de bobina móvil, de alta velocidad y alta aceleración;
Sistema de medición y control: Servosistema de bucle cerrado de alta precisión con escala de rejilla, con controlador multieje interconectado.
III. Precisión de las claves
Precisión de posicionamiento: ±0,05~1 μm; Repetibilidad: 0,015~0,2 μm;
Rectitud en un solo eje ≤ 0,5~3 μm/m, perpendicularidad multieje 1~8 segundos de arco;
Funcionamiento sin deslizamiento ni vibraciones neumáticas, con una excelente estabilidad tanto a alta como a baja velocidad.
IV. Principales campos de aplicación
Sector de los semiconductores: estaciones de prueba de obleas, inspección de chips, alineación litográfica, posicionamiento para el corte de obleas;
Pantallas optoelectrónicas: inspección de defectos en pantallas LCD/OLED, acoplamiento de lentes, estaciones de unión de COG;
Metrología de precisión: bases para instrumentos de medición óptica, calibración de calibres estándar, plataformas de soporte para máquinas de medición por coordenadas (CMM);
Micromecanizado por láser: perforación ultrarrápida con láser, microcorte y marcado de zafiro y placas de circuito impreso;
Inspección de precisión aeroespacial: escaneo del contorno de piezas pequeñas aeroespaciales, medición dimensional de alta precisión;
Piezas médicas de precisión: microcatéteres, piezas implantables y accesorios para endoscopios; control de calidad;
Instituciones de investigación: experimentos a escala nanométrica, depuración óptica, ensayos de rendimiento de nuevos materiales;
Placa de circuito impreso (PCB): inspección óptica AOI, posicionamiento en el procesamiento de microagujeros.
V. Ventajas del producto
Desgaste nulo, vida útil de más de 20 años; sin holgura mecánica, buena uniformidad en movimientos a alta y baja velocidad; deriva térmica extremadamente reducida del material base de granito, lo que permite mantener la precisión a largo plazo en un entorno a temperatura constante.
