يوم: 07/17/2026

المزايا الأساسية لقواعد الجرانيت المستخدمة في آلات الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات I. الاستقرار الحراري المطلق، والقضاء على الانحراف الحراري على النطاق النانوي (متطلب أساسي للطباعة الضوئية) يتميز الجرانيت المخصص لأشباه الموصلات بمعامل تمدد حراري منخفض للغاية، حيث يبلغ 1/4 فقط من معامل تمدد الفولاذ و1/ من معامل تمدد سبائك الألومنيوم. وفي ظل التقلبات الطفيفة في درجات الحرارة، يكون تشوهه ضئيلاً للغاية، مما يمنع حدوث انحراف في التراكب الليثوغرافي واختلال محاذاة الأنماط،...

حل متكامل لقاعدة آلات الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات المصنوعة من الجرانيت I. نظرة عامة على الحل: صُمم هذا الحل لآلات الطباعة الضوئية بالأشعة فوق البنفسجية المتطرفة (EUV)، وآلات الطباعة الضوئية بالغمر باستخدام ArF، ومعدات الطباعة الضوئية باستخدام KrF. ويستخدم قاعدة متكاملة من الجرانيت المصنوع من صخور الدياباز عالية الكثافة من الدرجة 000 المخصصة لأشباه الموصلات (جينان الأخضر / الأسود الهندي)، مقترنةً بتصميم هيكلي دقيق، وعمليات تقادم متعددة المراحل، وعزل نشط للاهتزازات، و...