¿Cuáles son las ventajas de las soluciones para bases de máquinas de litografía de semiconductores?
Ventajas fundamentales de las bases de granito para máquinas de litografía de semiconductores I. Máxima estabilidad térmica, que elimina la deriva térmica a escala nanométrica (requisito fundamental para la litografía). El granito específico para semiconductores tiene un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo, solo 1/4 del del acero y 1/ del de la aleación de aluminio. Ante fluctuaciones mínimas de temperatura, su deformación es mínima, lo que evita el desplazamiento de la superposición en la litografía y la desalineación de los patrones,…
