Как определить, засорены ли воздушные отверстия прецизионной гранитной платформы?
I. Наиболее интуитивные и быстрые суждения (взгляд, прикосновение, толчок)
I. Наиболее интуитивные и быстрые суждения (взгляд, прикосновение, толчок)
Степени точности прецизионных воздухоопорных платформ (гранитных воздухоопорных платформ) обычно классифицируются в промышленности на две системы: точность движения и плоскость референса I. Степень точности гранитной платформы (метрологическая степень)Это базовая степень, определяющая, насколько точна опорная поверхность:ТаблицаСтепень плоскостности (типичная) Применимое оборудованиеСтепень 000 ≤ 2 мкм/м² Сверхвысокоточные КИМ, полупроводниковые инспекции,...
000 Гранитная платформа с воздушным подшипником Типичное подходящее оборудованиеI. Высокотехнологичное оборудование для полупроводников и панелей (основная область)Литографическое оборудованиеЛитографические выравнивающие платформыМашины для инспекции пластин, зонды для пластинИзмерение тонких пленок полупроводников, профилометрыМашины для склеивания чипов, оборудование для флип-чиповПлоские дисплеи (OLED/LCD) Микроинспекция, лазерное ремонтное оборудованиеII. Сверхвысокоточные измерительные приборыСверхвысокоточные координатно-измерительные машины (КИМ)Лазерные измерительные платформыВысокоточные профилометры,...
I. Принципы работы и структурный составПринцип работы: чистый воздух под высоким давлением распыляется через пористый графит/дроссель hes для формирования равномерной воздушной пленки 5-15 мкм между гранитным основанием и подвижным ползуном; бесконтактная левитация достигает движения без трения, полагаясь на жесткость воздуха для поддержания нагрузки и направления; часто сочетается с вакуумной предварительной нагрузкой/магнитной предварительной нагрузкой для повышения...
I. Основные определения и функцииГранитное основание (рабочий стол портальный/колонный КИМ fraa) служит абсолютным эталоном для измерений, устанавливая стабильную трехмерную систему координат, поддерживая заготовки и подвижные компоненты, подавляя вибрацию и тепловые деформации; модели высокого класса используют полностью гранитную структуру (интегрированные трехосевые направляющие) для обеспечения общей тепловой стабильности. Гранитная основа II. Незаменимые характеристики материалаДолгосрочная...
I. Выбор материала (определяет, будет ли он трескаться и стабильность)Виды материаловПриоритет: Цзинань зеленый, Zhangqiu черный (мелкозернистый, однородный, лучшая стабильность)Ключевые моменты приемки (обязательно к прочтению при закупке)Нет трещин, нет расслоений, нет бла, нет выветривания слоевОднородные кристаллические зерна, нет очевидных цветовых полосМожет быть цельным материалом; сращивание и заплаты запрещеныКритическое замечаниеБедное сырье → Независимо от того, как мукт обработки сделано,...
I. Предотвращение образования трещин: Выбор правильного материала и использование правильного процесса (наиболее важно)Выбор материалаПриоритет отдавайте мелкозернистому граниту с небольшим количеством трещин и слоев, например, Jinan Green и Zhangqiu Black.Избегайте материалов со скрытыми трещинами, цветовыми пятнами, слоями или линиями воды.Структурная конструкцияБольшие платформы не должны быть слишком тонкими; недостаточная толщина делает их чрезвычайно склонными к разрушению.Углы, щели,...
Факторы, влияющие на соосность координатно-измерительных машин (КИМ), сводятся к следующему: неточность оси, нестабильность заготовок, неточность станка, нестабильность среды и неправильные методы. Я собрал все это в наиболее практичную, готовую к использованию версию для цеха, без излишней эрболизации. I. Неточность, присущая станку (первопричина)Геометрическая точностьПерпендикулярность, прямолинейность, угол наклона и рыскание трех...
Платформы и компоненты прецизионного гранита модернизируются по пяти основным направлениям: высокая точность, интеграция, интеллектуальность, экологичность и сервисизация. Основной движущей силой является жесткий спрос высокотехнологичных отраслей производства, таких как полупроводники, новая энергетика и аэрокосмическая промышленность, на “экстремальность восприятия данных в соответствии с экологическими требованиями”. I. Материалы и характеристики: Экстремальная стабильность и инновации в области композитовПрорыв в области предельной точности:...
I. Материал и долговременная стабильностьПриродное старение, крайне низкое внутреннее напряжение: Высококачественный гранит (s Jinan Black) подвергается геологическому старению в течение сотен миллионов лет, высвобождая внутреннее остаточное напряжение. После прецизионной обработки практически не происходит медленной деформации, а цикличность точности сохраняется долго (не требуется капитальный ремонт или калибровка в течение 5-8 лет), что значительно превосходит...