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I. Juicios más intuitivos y rápidos (mirar, tocar, empujar)

Los grados de precisión de las plataformas aerodinámicas de precisión (plataformas aerodinámicas de granito) se clasifican generalmente en la industria en dos sistemas: precisión de movimiento y referencia plana I. Grado de precisión de la plataforma de granito (Grado de metrología)Este es el grado base, que determina la precisión de la superficie de referencia:TablaGrado Planitud (Típica) Equipos aplicablesGrado 000 ≤ 2 μm/m² MMC de ultra alta precisión, inspección de semiconductores,...

000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipos típicos adecuadosI. Equipos de alta gama para semiconductores y paneles (campo principal)Equipos de litografíaPlataformas de alineación de litografíaMáquinas de inspección de obleas, prensas de obleasMedición de películas finas de semiconductores, perfilómetrosMáquinas de pegado de chips, equipos de flip chipMicroinspección de pantallas planas (OLED/LCD), equipos de reparación por láserII. Instrumentos de medición de ultraprecisiónMáquinas de medición por coordenadas de ultraprecisión (MMC)Plataformas de medición por láserPerfilómetros de alta precisión,...

I. Principios básicos y composición estructuralPrincipio de funcionamiento: El aire limpio a alta presión se pulveriza a través de grafito poroso / acelerador hes para formar una película de aire uniforme de 5-15 μm entre la base de granito y la diapositiva en movimiento; la levitación sin contacto logra un movimiento de fricción cero, mientras que confía en la fitiffness del aire para soportar la carga y la guía; a menudo combinado con precarga de vacío / precarga magnética para mejorar...

I. Definiciones y funciones principalesLa base de granito (pórtico de mesa de trabajo/columna fraa CMM sirve como referencia absoluta para la medición, estableciendo un sistema de coordenadas tridimensional estable, soportando las piezas de trabajo y los componentes móviles, y suprimiendo la vibración y la deformación térmica; los modelos de gama alta adoptan una estructura totalmente de granito (guías de tres ejes integradas) para garantizar la consistencia térmica general. Base de granito II. Características irremplazables del material...

I. Selección del material (Determina si se agrietará y su estabilidad)Tipos de materialPrioridad:Verde Jinan, Negro Zhangqiu (grano fino, uniforme, mejor estabilidad)Puntos clave de aceptación (de lectura obligatoria para la adquisición)Sin grietas, sin laminaciones, sin bla, sin capas desgastadasGranos de cristal uniformes, sin bandas de color evidentesDebe ser un material sólido; se prohíben los empalmes y los parchesNota críticaMateria prima pobre → No importa cómo se...

I. Prevención en origen: Selección del material adecuado y uso del proceso correcto (más crítico)Selección del materialPriorice el granito de grano fino con pocas grietas y capas, como el verde Jinan y el negro Zhangqiu.Evite los materiales con grietas ocultas, manchas de color, capas o líneas de agua.Diseño estructuralLas plataformas grandes no deben ser demasiado finas; un grosor insuficiente las hace extremadamente propensas a romperse.Esquinas, ranuras,...

Los factores que afectan a la coaxialidad de las Máquinas de Medir por Coordenadas (MMC) se reducen esencialmente a: axint inexacto, piezas de trabajo inestables, inexactitud de la máquina, entorno inestable y métodos inadecuados. He recopilado todo esto en la versión más práctica y lista para usar en el taller, sin erbosidades innecesarias. I. Precisión inherente a la máquina (causa raíz)Precisión geométricaPerpendicularidad, rectitud, cabeceo y guiñada de los tres...

Las plataformas y componentes de granito de precisión se están modernizando en cinco direcciones principales: alta precisión, integración, inteligencia, ecología y servitización. La principal fuerza impulsora es la rígida demanda de los sectores de fabricación de gama alta, como los semiconductores, las nuevas energías y la industria aeroespacial, de “percepción de datos de extrema movilidad y conformidad ecológica”. I. Materiales y rendimiento: Estabilidad extrema e innovación en compuestosAvances en los límites de precisión:...

I. Material y estabilidad a largo plazoEnvejecimiento natural, tensión interna extremadamente baja: El granito de alta calidad (s Jinan Black) sufre envejecimiento geológico durante cientos de millones de años, liberando tensiones residuales internas. Después del mecanizado de precisión, casi no hay deformación lenta, y el ciclo de retención de precisión es largo (no se requieren revisiones ni calibraciones importantes durante 5-8 años), muy superior...