Точность до нанометрового уровня — от основ до интеллектуальных решений: эволюционный путь мраморного линейного двигателя
Точность в масштабе нанометров — от основы до интеллектуальных решений: эволюция линейного двигателя на мраморной основе. Введение. Литография полупроводников, лазерная микро- и нанообработка, высокоточный оптический контроль, метрология полупроводников третьего поколения… Высокотехнологичное производство неуклонно продвигается в сторону микро- и наномасштабов. Когда требования к позиционированию оборудования преодолевают микрометровый порог, недостатки традиционных металлических станин и…