Precisión a escala nanométrica, desde la base hasta la inteligencia: la trayectoria evolutiva del motor lineal de mármol
Precisión a escala nanométrica, desde los cimientos hasta la inteligencia: la evolución del motor lineal de mármol. Introducción. Litografía de semiconductores, micromecanizado y nanomecanizado por láser, inspección óptica de alta precisión, metrología de semiconductores de tercera generación… La fabricación de alta gama avanza continuamente hacia las escalas micro y nano. Cuando los requisitos de posicionamiento de los equipos superan el umbral del micrómetro, las deficiencias de las bancadas metálicas tradicionales y…