Керамические детали из карбида кремния играют ключевую роль в производстве прецизионного оборудования нового поколения.
Почему керамические детали из карбида кремния являются ключевым элементом прецизионного оборудования следующего поколения В условиях развития высокотехнологичного прецизионного оборудования следующего поколения, такого как EUV-литография и передовые технологии литографии, полупроводниковое оборудование с технологическим процессом 3 нм и менее, сверхточная оптика, вакуумная метрология и высокоскоростные нанодвижущиеся платформы, традиционные материалы — гранит, алюминиевые сплавы, сталь и корундная керамика — достигли пределов своих возможностей. Передовая керамика на основе карбида кремния (SiC), обладающая непревзойденными…
