Les composants en céramique à base de carbure de silicium sont essentiels pour les machines de précision de nouvelle génération.
Pourquoi les composants en céramique de carbure de silicium constituent la clé essentielle des machines de précision de nouvelle génération Face aux équipements de précision haut de gamme de nouvelle génération, tels que la lithographie EUV et avancée, les équipements pour semi-conducteurs de 3 nm et moins, l’optique d’ultra-précision, la métrologie sous vide et les plateformes de nano-mouvement à grande vitesse, les matériaux traditionnels tels que le granit, les alliages d’aluminium, l’acier et les céramiques à base d’alumine ont atteint leurs limites en termes de performances. Les céramiques avancées en carbure de silicium (SiC), grâce à leurs propriétés exceptionnelles…
