Многоосевая прецизионная платформа перемещения с пневматической подвеской
I. Описание продукта
В качестве опорной основы используется натуральный гранит марки 000/00; в конструкции применяется система линейного привода с бесконтактной левитацией на воздушной подушке и прямым приводом звуковой катушки, которая исключает механическое трение и люфт. В сочетании с системой управления с замкнутым контуром на основе решетки она образует многоосевые взаимосвязанные системы прецизионного перемещения, такие как XY, XYZ и XYθ. Используя сжатый воздух для формирования воздушной подушки толщиной в микроны, поддерживающей движущиеся детали, она обеспечивает точность позиционирования на нано- и субмикронном уровне.
II. Основная конструкция
Гранитное основание: камень «Цин» из Цзинаня, низкое тепловое расширение, высокая стабильность, эталонная поверхность с точностью плоскостности класса 000/00;
Направляющие с пневматическими подшипниками: пневматические опорные прокладки с микропорами/мелкими отверстиями, толщина пневматической пленки 10–15 мкм, нулевое трение;
Приводной блок: безжелезный линейный двигатель/двигатель с звуковой катушкой, отличающийся высокой скоростью и большим ускорением;
Система измерения и управления: высокоточный сервопривод с решетчатой шкалой и замкнутым контуром управления, многоосевой связанный контроллер.
III. Точность ключей
Точность позиционирования: ±0,05–1 мкм; Повторяемость: 0,015–0,2 мкм;
Прямолинейность по одной оси ≤0,5–3 мкм/м, перпендикулярность по нескольким осям 1–8 угловых секунд;
Работа без ползучести и воздушных колебаний, превосходная устойчивость как на высоких, так и на низких скоростях.
IV. Основные области применения
Полупроводниковая промышленность: станции тестирования пластин, контроль качества микросхем, выравнивание при литографии, позиционирование при резке пластин;
Оптоэлектронные дисплеи: станции контроля дефектов ЖК- и OLED-дисплеев, станции соединения линз, станции склеивания COG;
Точная метрология: основания для оптических измерительных приборов, калибровка эталонных калибров, опорные платформы для координатно-измерительных машин;
Лазерная микрообработка: сверхбыстрое лазерное сверление, микрорезка и маркировка сапфира и печатных плат;
Высокоточный контроль в аэрокосмической отрасли: сканирование контуров мелких деталей для аэрокосмической промышленности, высокоточные измерения размеров;
Медицинские прецизионные детали: контроль качества микрокатетеров, имплантируемых деталей и принадлежностей для эндоскопов;
Научно-исследовательские учреждения: наноэксперименты, оптическая отладка, испытания новых материалов на эксплуатационные характеристики;
Электронная печатная плата: оптический контроль AOI, позиционирование при обработке микроотверстий.
V. Преимущества продукта
Нулевой износ, срок службы более 20 лет; отсутствие механического люфта, стабильная работа как на высоких, так и на низких скоростях; крайне низкий тепловой дрейф гранитного материала основания, что обеспечивает долгосрочную точность в условиях постоянной температуры.
