Применимые стандарты: GB/T20428, ISO8512-2, DIN876, ISO230-1; Условия испытаний: 20 °C ± 1 °C, относительная влажность 40%~60%, уровень вибрации VC-E, чистая безпыльная среда. Часть 1: Геометрическая точность гранитного основания (эталонная поверхность) Класс точности Допуск на плоскостность (мкм на метр) Шероховатость поверхности Ra Перпендикулярность смежных поверхностей Типичный класс применения 000 (сверхточный) ≤1,0 ≤0,05 мкм ≤1,5 мкм/м Полупроводниковая промышленность, литография, наноинспекционные столики Класс 00 (высокая точность) ≤2,0 ≤0,10 мкм ≤3,0 мкм/м Основание КИМ, оптическое контрольно-измерительное оборудование Класс 0 (промышленная точность) ≤4,0 ≤0,20 мкм ≤6,0 мкм/м; точная механическая обработка и визуальный контроль; класс 1 (общее промышленное применение) ≤8,0 ≤0,40 мкм ≤12 мкм/м; учебные столы, стандартные приспособления для автоматизации. Формула расчёта плоскостности: Допуск = коэффициент × √(L × W); коэффициент: 000 = 0,003; 00 = 0,006; 0 = 0,012; 1 = 0,024 (единица измерения: мкм) Дополнительные требования к материалу основания и механической обработке 1. Материал: чёрный гранит Цзинань; коэффициент линейного расширения ≤4,6×10⁻⁶/℃, водопоглощение <0,131 TP3T, твёрдость по Шору HS ≥70. 2. Прямолинейность крепления направляющих: класс 000 ≤0,8 мкм/м; класс 00 ≤ 1,6 мкм/м; 3. Общий уровень после регулировки выравнивающих ножек: ≤ 2 мкм/1000 мм; 4. Допуск на положение резьбовых отверстий: класс 000 ≤ ±0,02 мм; класс 00 ≤ ±0,05 мм; параллельность зенковки ≤ 2 мкм/100 мм. Часть 2: Точность движения воздушного подшипника (воздушная подушка и система привода) 1. Точность позиционирования (весь диапазон хода) – Нанокласс (база 000): ±0,1–±0,3 мкм; – Субмикронный класс (база 00): ±0,3–±1,0 мкм; – Микронный класс (база 0/1): ±1,0–±3,0 мкм 2. Точность повторяемости позиционирования (статистическое значение 3σ) – Сверхвысокая точность: ≤±0,05–±0,1 мкм – Высокая точность: ≤±0,2 мкм – Общее промышленное применение: ≤±0,5–±1,0 мкм 3. Прямолинейность по одной оси на полном ходе – Класс 000: ≤0,5 мкм/1000 мм – Класс 00: ≤1,2 мкм/1000 мм – Класс 0: ≤3,0 мкм/1000 мм 4. Параметры воздушной подушки: Стандартная толщина воздушной подушки: 10–15 мкм, жесткость воздушной подушки ≥120 Н/мкм; отсутствие воздушного удара и ползучести, нулевое механическое контактное трение 5. Ортогональность осей X/Y (многоосевая платформа): Класс 000 ≤1 угловая секунда; Класс 00 ≤ 3 угловых секунд; Класс 0 ≤ 8 угловых секунд Часть 3. Таблица соответствия классов для конкретных применений 1. Полупроводники/литография: Класс 000 — Основание + Положение ±0,2 мкм, Повторяемость ≤ 0,1 мкм 2. Координатно-измерительные машины (КИМ)/высокоточные системы машинного зрения: Класс 00 — Основание + Положение ±0,5 мкм, Повторяемость ≤0,2 мкм; 3. Контроль прецизионной обработки: Класс 0 — Основание + Положение ±1,5 мкм, Повторяемость ≤0,6 мкм; 4. Обучающие и стандартные приспособления: класс 1 (базовый) + положение ±3,0 мкм. Часть 4. Условия приемки и контроля. 1. Стабилизация перед испытанием: поместить платформу в помещение с постоянной температурой на ≥72 ч для снятия внутренних напряжений материала перед измерением. 2. Контрольно-измерительные приборы: лазерный интерферометр, прибор для измерения шероховатости в белом свете, электронный прецизионный уровень, калибратор перпендикулярности. 3. Стандарты соответствия: GB/T 20428, ISO 8512-2, DIN 876, ISO 230-1
