Платформы на воздушных подшипниках: главный секрет долгосрочной стабильности на уровне субнанометровой точности
В таких высокотехнологичных областях, как производство полупроводников, прецизионный контроль качества и микро- и нанопроизводство, точность в субнанометровом диапазоне является основным требованием к работе оборудования, а долгосрочная стабильность измерений — ключевым фактором, определяющим выход готовой продукции и срок службы оборудования. Именно поэтому платформы на воздушных подшипниках способны преодолеть ограничения традиционных платформ и обеспечить стабильную субнанометровую точность…
