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Granite is becoming the ideal base material for CNC machine tools and robotic automation, thanks to its extreme thermal stability, superior damping and vibration reduction,

¿Por qué ahora los equipos láser se adaptan y actualizan casi universalmente a bases de granito? I. Conclusión central en una fraseA medida que los equipos láser avanzan hacia mayores

Limitaciones y retos: El granito no es impecable Aunque el granito es un material ideal para las bases de equipos de ultraprecisión, posee ciertas limitaciones inherentes que

En el campo de la fabricación y la metrología de ultraprecisión, las bases de los equipos no son simples estructuras de soporte, sino los portadores fisiológicos de los puntos de referencia de la precisión: su rendimiento es directo.

El granito natural es el material estructural preferido para las plataformas de inspección de semiconductores, con amplias aplicaciones maduras en inspección de obleas, inspección óptica, medición CMM, inspección AOI/X-ray, sonda

I. Mantenimiento diario (diario / por uso)Ventile primero, luego encienda; Apague primero, luego apague el gasStartup: Fuente de gas estable → Flotadores de cojinete de aire

I. Juicios más intuitivos y rápidos (mirar, tocar, empujar)

Los grados de precisión de las plataformas aerodinámicas de precisión (plataformas aerodinámicas de granito) se clasifican generalmente en la industria en dos sistemas: precisión de movimiento y referencia plana I.

000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipos típicos adecuadosI. Equipos de alta gama para semiconductores y paneles (campo principal)Equipos de litografíaPlataformas de alineación litográficaMáquinas de inspección de obleas, prensas para obleasSemiconductores de capa fina

I. Principios básicos y composición estructuralPrincipio de funcionamiento: El aire limpio a alta presión se pulveriza a través de grafito poroso/acelerador hes para formar una película de aire uniforme de 5-15 μm.