Los grados de precisión de las plataformas aerodinámicas de precisión (plataformas aerodinámicas de granito) se clasifican generalmente en la industria en dos sistemas: precisión de movimiento y referencia plana.
I. Plataforma de granito de grado de precisión (grado de metrología)
Se trata del grado de base, que determina la precisión de la superficie de referencia:Tabla
Grado de planitud (típico) Equipo aplicable
Grado 000 ≤ 2 μm/m² MMC de ultra alta precisión, inspección de semiconductores, plataformas de cojinetes de aire iluminadas.
Grado 00 ≤ 3 μm/m² MMC de alta precisión, plataformas de movimiento de precisión con cojinetes de aire, mesas de inspección.
Grado 0 ≤ 5 μm/m² Máquinas de medición general, bancos de trabajo de precisión.
Grado 1 ≤ 10 μm/m² Plataformas de inspección, plataformas de marcado.
Placa de cojinetes de aire de uso exclusivo: Grado 00, Grado 000
II. Plataforma de movimiento con cojinetes de aire Grado de precisión (estándar industrial)
Dividido en 4 niveles basados en la capacidad de posicionamiento y la repetibilidad, que se corresponden directamente con los niveles de equipamiento:
- Nivel de precisión general
Repetibilidad: ±1 μm
Posicionamiento AccuraAplicaciones: Inspección general, alineación semiautomática - Nivel de alta precisión (más común)
Repetibilidad: ±0,5 μm
Precisión de posicionamiento: ±1～2 μm
Aplicaciones: Plataformas neumáticas de granito estándar, MMC de gama alta, inspección óptica - Nivel de ultraprecisión
Repetibilidad: ±0,1～0,2 μm
Precisión de posicionamiento: ±0,5 μm
Aplicaciones: Inspección de frontales de semiconductores, interferometría láser, nanoalineación
4.ano Nivel
Repetibilidad: ±10～50 nm
Precisión de posicionamiento: Dentro de ±0,1 μm
Aplicaciones: Litografía, precisión cuántica, nimpresión
III. Grados de rectitud y perpendicularidad de la plataforma aerodinámica (juicio intuitivo)
Rectitud de la plataforma neumática de alta gama: .1～0.5 μm/300mm
Perpendicularidad: ±1～3 μm/m
Suavidad de movimiento: Sin arrastramientos, vibraciones ni fluctuaciones
IV. Método de memorización más sencillo (Utilización directa para la cotización / selección)
Grado 000 Granito Repetibilidad ±0,1～0,5 μm = Air-beariatform de ultra alta precisión
Grado 00 Granito Repetibilidad ±0,5～1 μm = Plataforma de rodamientos de aire de alta precisión
Por debajo de esta cifra, no suele considerarse una plataforma de precisión.
