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Granite is becoming the ideal base material for CNC machine tools and robotic automation, thanks to its extreme thermal stability, superior damping and vibration reduction,

Pourquoi les équipements laser sont-ils aujourd'hui presque tous modernisés et remplacés par des bases en granit ? I. Conclusion principale en une phraseAu fur et à mesure que l'équipement laser progresse vers des niveaux de qualité plus élevés, il devient de plus en plus important d'utiliser des bases en granit.

Limites et défis : Le granit n'est pas sans défaut Bien que le granit soit un matériau idéal pour les bases des équipements d'ultra-précision, il possède certaines limites inhérentes qui sont les suivantes

Dans le domaine de la fabrication et de la métrologie de haute précision, les bases d'équipement ne sont pas de simples structures de soutien, mais les supports mêmes des références de précision - leurs performances étant directement liées à la qualité de l'air, de l'eau et du sol.

Le granit naturel est le matériau structurel préféré pour les plates-formes d'inspection des semi-conducteurs, avec de nombreuses applications matures dans les domaines de l'inspection par frottement, de l'inspection optique, de la mesure CMM, de l'inspection AOI/rayons X, de la sonde, etc.

I. Entretien quotidien (quotidien / par utilisation)Ventiler d'abord, puis allumer ; éteindre d'abord, puis couper le gazDémarrage : Source de gaz stable → Flotteurs de paliers à air

I. Jugements les plus intuitifs et les plus rapides (regarder, toucher, pousser)

Les degrés de précision des plates-formes à coussin d'air de précision (plates-formes à coussin d'air en granit) sont généralement classés dans l'industrie en deux systèmes : la précision du mouvement et la référence planaire.

000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipement typique appropriéI. Équipement haut de gamme pour semi-conducteurs et panneaux (domaine principal)Équipement de lithographie Plates-formes d'alignement de lithographieMachines d'inspection de plaquettes de silicium, machines d'exposition de plaquettes de siliciumMachines d'inspection de plaquettes de silicium (domaine principal)

I. Principes fondamentaux et composition structurellePrincipe de fonctionnement : de l'air propre à haute pression est pulvérisé à travers le graphite poreux/les étranglements pour former un film d'air uniforme de 5 à 15 μm.