I. Ежедневное техническое обслуживание (ежедневно / после каждого использования)
Сначала проветрите помещение, а затем включите питание; сначала выключите питание, а затем перекройте газ
Запуск: Стабильный источник газа → Подушки воздушного подвеса поднимаются → Включение питания и перемещение
Отключение: Остановить движение → Отключить питание → Затем перекрыть газ
Не допускайте сухого шлифования блоков «Эйр-Бенг», чтобы не поцарапать поверхность гранита.
Чистка рабочего стола
Аккуратно протрите безворсовой тканью/замшей, безводным этанолом или нейтральным чистящим средством
Запрещено: наждачная бумага, стальная вата, сильные кислоты/щелочи, чистящие средства на основе хлора
Пыль, металлическую стружку и смазочно-охлаждающую жидкость необходимо немедленно удалить; в противном случае они могут поцарапать направляющие и вентиляционные отверстия.
Проверьте источник газа
Давление: 0,4–0,6 МПа
Поверхность должна быть сухой, без масляных пятен и пыли
Если обнаружена вода или о, немедленно остановите машину, чтобы слить воду/заменить фильтрующий элемент.
II. Еженедельное техническое обслуживание
Слейте воду и замените фильтрующие элементы в трёхкомпонентном комплекте источника газа/фильтре
Фильтр для отделения масла от воды должен работать исправно
Загрязненные воздуховоды → Засоренные отверстия воздушных подшипников → Снижение точности, появление царапин на поверхности стола.
Проверка рабочего состояния блока воздушного подшипника
Движение де должно быть плавным, без сопротивления и шума трения
В случае заклинивания, повышенного сопротивления или невозможности всплытия: в большинстве случаев это происходит из-за забитых вентиляционных отверстий или ненормальной работы газовой системы. III. Ежемесячное техническое обслуживание
Комплексная очистка поверхности стола с воздушным подшипником
Осторожно продуйте отверстия дроссельной заслонки с воздушным подшипником и многопористый графит (лучше всего использовать чистый и сухой нитрен)
Категорически запрещается прокалывать отверстия для выхода воздуха с помощью игл или проволоки, так как это приведёт к нарушению точности регулировки.
Проверить виброизолирующие опоры / пневматические амортизаторы
Уровень, давление газа p и высота должны соответствовать друг другу
Чрезмерная вибрация фундамента напрямую приведет к снижению точности измерений и обработки данных.
IV. Ежеквартальное / полугодовое техническое обслуживание
Проверка точности
Ровность, прямолинейность, параллельность, перпендикулярность
Определение с помощью электронного уровня, оптической плоскости и лазерного интерферометра
Проверьте герметичность воздухопровода
Проверьте наличие утечек и колебаний давления
Документация по охране окружающей среды
Температура: оптимальная — 20±1 °C
Влажность: 45%–60%
Сильные колебания температуры влияют на точность в большей степени, чем износ.
V. Операции, категорически запрещенные (с указанием причин)
Не допускайте ударов, столкновений или падений тяжелых предметов: гранит — хрупкий материал, и отколотые углы не поддаются восстановлению.
Не допускается перемещать слайд без гайля, так как это может привести к появлению глубоких царапин.
Запрещается выполнять прямую шлифовку, нарезку резьбы или резку непосредственно на поверхности стола.
Запрещается размещать заготовки, на которых имеются следы воды, масла или пыли, непосредственно на поверхности стола.
VI. Быстрая диагностика простых неисправностей
Слайд не плавает / плавает неравномерно
→ Недостаточное давление в источнике газа / наличие воды или масла / забитые отверстия для ушивания
Сопротивление или необычные шумы при движении
→ Наличие ненормальной воздушной пленки или посторонних предметов на поверхности стола
Резкое снижение точности
→ Резкое изменение температуры, вибрация основания, проблемы с воздуховодом или царапины на поверхности стола
