Контроль погрешности плоскостности гранитных платформ должен проводиться в соответствии с GB/T 20428-2006 “Скальные плиты”* в качестве приоритетного. К распространенным методам относятся метод электронного уровня, метод лазерного интерферометра, метод оптической плоской интерферометрии и метод циферблатного индиктора. Выбор должен основываться на требованиях к точности и условиях на объекте.
I. Общие методы и применимые сценарии
Таблица
| Метод | Оборудование | Точность | Применимые снарио |
|---|---|---|---|
| Метод электронного уровня | Электронный уровень Мостовая плита | 1-5 мкм | Платформы класса 0/1, пригодные для использования как на месте, так и в лаборатории |
| Метод лазерного интерферометра | Лазерный интерферометр Зеркало | 0,1-1 мкм | Высокоточные платформы класса 00/00 |
| Метод оптической плоской интерферометрии | Оптическая плоская Монохроматический источник света | 0,05-0,2 мкм | Малый размер, высокая точность, бесконтактный |
| Метод циферблатного индикатора | Циферблатный индикатор Прямая грань / Мостовая пластина | 2-10 мкм | Мастерская быстрого осмотра, средние и малые платформы |
II. Основные этапы вскрытия (на примере метода электронного уровня)
Подготовка и выравнивание
Очистите рабочую поверхность и мостовую плиту; отрегулируйте платформу до приблизительного уровня. Контролируйте температуру при 20℃±2℃, избегайте вибрации и прямых солнечных лучей.
Расположение и измерение точек
Разместите точки в виде креста или сетки; для больших платформ измерьте диагонали. Отложите пролет плиты на 1/3-1/2 короткой стороны платформы и запишите показания наклона по точкам.
Обработка данных
Рассчитайте погрешность плоскостности по методу Луареса или методу минимальной зоны. Разница между самой высокой и самой низкой точками - это значение плоскостности.
Суждение
Сравните с градациями точности (000/00/0/1) по GB/T 20428-2006 для определения соответствия.
III. Ключевые моменты и меры предосторожности
Окружающая среда: Стабильная температура, влажность 40%-60%, вдали от источников вибрации. Перед измерением дайте термостабилизироваться более 30 минут.
Разметка точек: Покройте всю рабочую поверхность; для длинных платформ добавьте измерения для диагоналей и центральных областей, чтобы обеспечить репрезентативность.
Расчеты: Отдайте предпочтение методу минимальной зоны, который соответствует принципу “минимального условия” для получения надежных результатов.
Точность подбора: используйте лазерный интерферометр или оптическую плоскость для марки 000/00; используйте электронный уровень или циферблатный индикатор для марки Gra.
IV. Быстрое суждение (GB/T 20428-2006)
Класс 0: допуск плоскостности ≤ (1 L/1000) мкм (L - длина диагонали, мм)
Класс 1: Допуск плоскостности ≤ 8×(1 L/0) мкм
V. Экспресс-инспекция на месте (метод циферблатного индикатора)
Выровняйте платформу и закрепите циферблатный индикатор так, чтобы его стрелка вертикально касалась рабочей поверхности.
Двигайтесь по прямой/невесте и записывайте разницу между максимальным и минимальным показаниями.
Повторите измерения для диагоналей и поперечных линий; максимальную разницу примите за погрешность плоскостности.
VI. Высокоточная икция (метод лазерного интерферометра)
Расположите зеркала так, чтобы получился замкнутый световой путь.
Запустите прибор для автоматического измерения, чтобы создать 3D-топографию и отчет о плоскостности. Экспортируйте данные, сравните с эталонами и выдайте сертификат калибровки.
VII. Метод оптической плоской интерферометрии (малые платформы)
Очистите оптическую плоскость и рабочую поверхность; кладите аккуратно, чтобы не поцарапать.
Облучите монохроматическим светом и наблюдайте за интерференционными полосами: прямые и параллельные полосы указывают на соответствие; искривленные или деформированные полосы указывают на ошибку.
Преобразуйте fless, основываясь на степени кривизны бахромы (λ≈0,589 мкм).
