La microqualité de la surface des bases en granit des équipements semi-conducteurs, caractérisée par une rugosité à l'échelle nanométrique, l'absence de microdéfauts, une très grande propreté, des propriétés non magnétiques et sans contamination, ainsi qu'une micro-morphologie uniforme, détermine directement le rendement des plaquettes et la stabilité à long terme de l'équipement.
I. Rugosité de la surface (indicateur de base)
Surfaces de travail (repères / guides / surfaces sous vide) : Ra ≤ 0,01-0,05 μm (10-50 nm) ; Les machines de lithographie haut de gamme / plateformes d'inspection exigent un Ra ≤ 0,01 μm (10 nm), une finition miroir, aucune sensation tactile au toucher.
Surfaces non travaillantes / Côtés : Ra ≤ 0,2-0,5 μm, exempt de marques d'outils et de traces de meulage.
Mesure : Inspection complète à l'aide de rugosimètres de haute précision (précision de 0,01 μm) ou d'interféromètres à lumière blanche.
II. Défauts microscopiques (tolérance zéro)
Absence de fissures, de pores, de trous d'épingle, de bords ébréchés, de piqûres, de rayures, de marques d'outils ou de particules de meulage résiduelles.
Inspection microscopique (microscope électronique) : ≤3 défauts >1 μm par centimètre carré ; les particules flottantes sont strictement interdites.
Bords / trous : Chanfrein uniforme C0,5-C2, exempt de bavures et d'angles vifs pour éviter l'écaillage et la contamination des plaquettes.
III. Propreté et contaminants de surface
Exempt de poussière, de poudre de pierre, de taches d'eau, de taches d'huile, d'empreintes digitales et d'agents de protection résiduels.
Pas de suintement d'huile, d'efflorescence, de jaunissement ou d'exsudats ; convient aux salles blanches de classe 1-100.
Protection : Utiliser uniquement des agents de protection spécialisés de qualité alimentaire, non volatils et exempts de poussières ; la protection industrielle ordinaire est interdite.
IV. Micro-morphologie et consistance
Micro-crêtes et vallées uniformes, pas d'ondulations, pas de saillies/dépressions locales.
Brillance constante sur la même surface de travail, pas de côtés clairs/sombres, pas de différence de couleur ; direction uniforme de la micro-texture.
Planéité : Grade 000, ≤1 μm/m ; planéité de toute surface de 100×100 mm ≤0,5 μm.
V. Propriétés non magnétiques et pureté des matériaux
Pierre exempte de minéraux ferromagnétiques, d'impuretés, de veines blanches, de lignes jaunes, de pores et de porosité.
Premium Jinan Green / Indian Black : Grain ultra-fin, noirceur uniforme, densité ≥2,7 g/cm³, taux d'absorption d'eau <0,1%.
VI. Assurance des processus critiques
Traitée dans un atelier à température constante (20±0,1℃) avec un broyage humide sans poussière sur toute la durée du processus.
Post-broyage : Rinçage à l'eau pure à haute pression → séchage sans poussière → emballage sans poussière ; contrôle de la propreté de l'ensemble du processus.
Résumé
Une rugosité de miroir à l'échelle nanométrique, l'absence de défauts microscopiques, une très grande propreté, des propriétés non magnétiques et sans contamination, ainsi qu'une micro-morphologie uniforme sont les exigences les plus strictes pour les bases granitiques des semi-conducteurs.
