Inspection par interféromètre laser de la planéité des plates-formes en granit : Principes faciles à comprendre
I. Principe de base
Grâce à la très grande stabilité de la longueur d'onde du laser, il calcule avec précision la déviation des ondulations de la hauteur en chaque point de la plate-forme par le biais des modifications des franges d'interférence causées par les différences de chemin optique, et ajuste en trois dimensions la véritable planéité.
La longueur d'onde du laser elle-même sert de référence naturelle au niveau du micron et du nanomètre, sans être affectée par la température ou les erreurs de lecture humaines.
II. Processus de travail simple
L'émetteur laser émet un faisceau laser stabilisé à fréquence unique. Un faisceau est dirigé vers un miroir de référence fixe, tandis que l'autre est dirigé vers un miroir mobile placé sur la plate-forme de granit.
Le miroir se déplace avec le pont le long des lignes longitudinales, transversales et diagonales de la plate-forme.
Lorsque la plate-forme est haute ou basse → le miroir s'incline vers le haut ou vers le bas.
Les deux faisceaux laser convergent pour produire des changements dans les franges d'interférence claires et sombres.
L'instrument convertit automatiquement : quantité de changement de frange → différence de hauteur verticale.
III. Comment la planéité est-elle calculée ?
Suivre un parcours quadrillé : balayer toute la surface de la table rangée par rangée le long des lignes longitudinales, transversales et des deux diagonales.
Collecte de la valeur Z de la coordonnée de hauteur en chaque point.
Le logiciel utilise la méthode des moindres carrés pour ajuster un plan standard idéal.
Point de mesure le plus élevé - Point de mesure le plus bas
= Erreur de planéité de la plate-forme granitique
IV. Autres précisions mesurables simultanément
Rectitude
Distorsion planaire (warping)
Perpendicularité (surface de référence granitique à angle droit)
Parallélisme
Tolérance de position des trous, rectitude des guides
V. Avantages de l'interféromètre laser par rapport au niveau à bulle
Plus grande précision : jusqu'à un niveau de 0,001μm
Insensible à la longueur du pont ou aux erreurs de lecture humaine
Pas d'erreur cumulative sur les tables longues
L'émission directe d'une carte du nuage d'erreurs en 3D, qui rend les points hauts et bas immédiatement visibles.
Traçabilité à long terme aux normes nationales de longueur dans un environnement à température constante, précision au niveau de l'arbitrage
VI. Résumé en une phrase
Interféromètre laser = utilisation de la lumière comme règle pour mesurer avec précision la différence de hauteur en chaque point de la surface du granit, ajustement du plan entier par un ordinateur pour calculer l'erreur de planéité réelle et de haute précision.
