Plate-forme de granit de précision / Solution de fabrication intégrale de composants (National StandardGrade 000/00/0 - Dédié aux semi-conducteurs / CMM / Benchmarks optiques)
Couvre l'ensemble du processus en boucle fermée, depuis la sélection des matériaux → le vieillissement → l'usinage CNC → le rodage manuel à température constante → la personnalisation structurelle → la vérification de la précision → l'installation et le service après-vente → la stabilité à long terme. Convient à l'aviation, aux semi-conducteurs, à l'inspection de précision, aux bancs de machines-outils et aux bases de coussinets d'air.
I. Schéma de sélection des matières premières (fondement de la précision)
- Sélection de minerais de première qualité (Jinan Green G3701 / Mount Tai Black)
ensité : 2.97~3.07g/cm³, taux d'absorption d'eau <0.13%, coefficient de dilatation linéaire 4.6×10⁶/℃ (seulement 1/3 de la fonte)
Résistance à la compression ≥250MPa, dureté Mohs 6,5~7, structure interne uniforme du grain, pas de fissures, pas de stries noires, pas d'impuretés.
Formation naturelle sur des centaines de millions d'années, contraintes internes extrêmement faibles, résistance à long terme à la déformation et aux vibrations, non magnétique, résistant à la corrosion. - Contrôle strict du stock brut
Forte détection des défauts de lumière sur les blocs bruts : pas de trous de sable >φ2mm, de fissures, de différences de couleur ou de couches perdues.
Réserve de 8~12 mm pour l'usinage, renforcement de l'épaisseur pour les grandes plaques afin d'éviter qu'elles ne se plient sous l'effet du poids propre.
Conforme aux normes de radioactivité : IRa1.0, Ir≤1.3, convient aux laboratoires et aux salles blanches
II. Vieillissement sous contrainte et schéma de stabilisation (élimination de la dérive de précision future)
Blocs bruts naturels vieillis en plein air pendant 18 à 24 mois pour libérer les tensions internes d'origine.
Plaques coupées vieillies statiquement dans un environnement à température constante pendant 30~45 jours (20±1℃).
Détente artificielle secondaire après l'usinage grossier pour éviter les déformations lentes après l'installation
Reprise et nivellement après perçage, rainurage et insertion de douilles en acier.
III. Processus d'usinage de précision complet (rodage manuel double CNC)
- Tronçonnage et façonnage (scie à fil diamantée / coupe-pont)
Scie diamantée de haute précision refroidie à l'eau, tolérance dimensionnelle de ±0,5 mm
Chanfreinage pour éliminer l'écaillage, tolérance de rodage réservée, la direction de la texture évite les fissures dues au stress Fraisage et rectification CNC de repères (centre d'usinage de pierre à 5 axes)
Meulage de surface à la meule diamantée CNC, fraisage de rainures en T, de trous de montage, de contre-trous et de trous de positionnement
Contrôle approximatif du parallélisme et de la perpendicularité ≤0,02mm/m, élimination de la matière en vrac et des marques d'outil.
Formage CNC intégré de douilles filetées en acier, de trous d'air et de pièces encastrées - Rodage à température constante à plusieurs niveaux (processus de précision de base - atelier à température constante de 20±0.5℃ sans poussière)
Rodage à la brosse : Élimination des marques d'outil, planéité 0,02~0,05mm/m
Rodage fin : Rodage alternatif à grille croisée, planéité ≤0,003mm/m
Raclage ultime manuel et mise en correspondance : ajustement au niveau du micron de grade 000, finition miroir Ra≤0,005μm.
Assemblage d'inserts → reprise secondaire globale, contrôle simultané en boucle fermée des tolérances géométriques du trou et de la surface de travail - Procédés spéciaux de personnalisation
Bases de guidage sur coussin d'air, bandes de guidage encastrées, trous filetés pré-enfouis, repères de pente et corps de référence à angle droit traités intégralement.
Revêtement étanche à l'humidité et aux infiltrations, protection contre la contaminationTraitement de scellement des pores pour une stabilité à long terme dans les environnements à forte humidité
IV. Normes de précision géométrique (GB/T JJG117)
Tableau
Grade de précision | Surface de travail Planéité (μm/m) | Scénario d'application
000 Grade | ≤2 | CMM, Plaquettes semi-conductrices, Métrologie de très haute précision
0Grade | ≤5 | Inspection optique, Outillage de précision, Benchmarks de laboratoire
0 Grade | ≤10 | Inspection d'atelier, machines-outils, mesures générales de précision
Le parallélisme, la perpendicularité et la tolérance de position correspondent à la classe de planéité.
Tolérance de l'espacement des trous ≤±0,005mm, détection de la grille complète des grandes diagonales de la plaque.
V. Programme de contrôle de la qualité de l'inspection en environnement à température constante
Atelier dédié au traitement/étalonnage : 20±0,5℃, Humidité 45%~55%, Pas de vent ou de soleil direct, Pas de sources de chaleur
Équipement d'inspection : Niveau électronique Swiss WYLER, interféromètre laser, micromètre Mahr, autocollimateur.
Méthode d'inspection : Échantillonnage multi-points en croix diagonale, calcul de l'erreur de plan par la méthode des moindres carrés.
Vieillissement de la stabilité en usine : Placement statique à température constante pendant 72h suivi d'une nouvelle mesure ; le produit n'est libéré que si la précision ne montre pas de rebond.
VI. Solutions d'installation et de soutien
Support de précision à détermination statique en trois points avec vis de pied réglables pour éliminer les déformations causées par le poids propre
Fondation indépendante anti-vibration en béton Coussinets d'isolation des vibrations en caoutchouc nitrile pour isoler les vibrations de l'atelier
Nivellement sur site, étalonnage de remesure et ajustement de précision
Inspection annuelle, recherche et réparation, et service d'entretien de précision à vie
VII. Optimisation de la fabrication pour la résolution des causes profondes des problèmes de précision courants
Dérive de température : Pierre à faible dilatation Température constante tout au long du processus, mesure à la même température que la pièce à usiner
Déformation à long terme : Vieillissement naturel ultra-long Soulagement des contraintes étape par étape, interdiction de surcharge en un seul point
Rayures et éclats : Protection par coussin souple de la pièce à rectifier de précision à surface miroir, interdiction stricte de la friction directe avec le métal.
Écart de position des trous : Insérer d'abord les douilles, puis la rectification finale dans son ensemble, précision en boucle fermée pour les surfaces de trou intégrées
VIII. Personnalisation et adaptation de l'industrie
Base CMM, banc de machine-outil, portique, plate-forme à coussin d'air
Inspection des semi-conducteurs, outillage pour l'aérospatiale, référence optique, composants de précision en granite sur mesure。
