Jour : 03/16/2026

Dans le domaine de la fabrication et de la métrologie d’ultra-précision, les bases d’équipement ne sont pas de simples structures de support, mais les supports physiques des étalons de précision : leurs performances déterminent directement la résolution d’imagerie des systèmes optiques, la précision des paramètres lors de l’inspection des semi-conducteurs, et même le rendement sur l’ensemble du cycle de vie des équipements clés tels que les machines de lithographie et les machines de mesure par coordonnées….

Le granit naturel est le matériau de construction privilégié pour les plateformes d’inspection des semi-conducteurs ; il fait l’objet de nombreuses applications bien établies dans les domaines de l’inspection des plaquettes, de l’inspection optique, de la métrologie par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT), de l’inspection AOI/aux rayons X, des stations de test et des équipements de métrologie. Voici quelques cas concrets et vérifiables issus de l'industrie : I. Équipements d'inspection de plaquettes et de métrologie (scénario principal) II. Équipements d'inspection haut de gamme (lithographie, rayons X, inspection laser) III. Conditionnement et back-end…