تُعد المكونات الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون ذات أهمية بالغة بالنسبة للآلات الدقيقة من الجيل القادم.
لماذا تُعد المكونات الخزفية المصنوعة من كربيد السيليكون العنصر الأساسي للآلات الدقيقة من الجيل التالي؟ في ظل ظهور معدات الدقة المتطورة من الجيل التالي، مثل الطباعة الضوئية المتطورة (EUV) والطباعة الضوئية المتقدمة، ومعدات أشباه الموصلات ذات 3 نانومتر وما دون، والبصريات فائقة الدقة، وعلم القياس الفراغي، ومنصات الحركة النانوية عالية السرعة، فقد وصلت المواد التقليدية مثل الجرانيت وسبائك الألومنيوم والصلب وسيراميك الألومينا إلى حدود أدائها القصوى. أما السيراميك المتطور المصنوع من كربيد السيليكون (SiC)، بفضل خصائصه الفائقة…
