000 Гранитная платформа с воздушным подшипником Типичное подходящее оборудованиеI. Высокотехнологичное оборудование для производства полупроводников и панелей (основная область)Литографическое оборудованиеЛитографические выравнивающие платформыМашины для инспекции пластин, зонды для пластинПолупроводниковые тонкие
I. Принципы работы и структурный составПринцип работы: Чистый воздух под высоким давлением распыляется через пористый графит/дроссельную заслонку, образуя равномерную воздушную пленку толщиной 5-15 мкм.
I. Основные определения и функцииГранитное основание (рабочий стол портальный/колонный КИМ fraa) служит абсолютным эталоном для измерений, устанавливая стабильную трехмерную систему координат, поддерживая
I. Выбор материала (определяет, будет ли он трескаться и устойчив ли он)Типы материаловПриоритет: Цзинань зеленый, Чжанцю черный (мелкозернистый, однородный, наилучшая устойчивость)Ключевые моменты приемки (обязательно к прочтению для закупки)Нет трещин, нет
I. Предотвращение появления источников: Выбор правильного материала и использование правильного процесса (наиболее важно) Выбор материалаПриоритет отдается мелкозернистому граниту с небольшим количеством трещин и слоев, такому как Jinan
Факторы, влияющие на соосность координатно-измерительных машин (КИМ), сводятся к следующему: неточность оси, нестабильность заготовок, неточность машины, нестабильность среды и неправильные методы. I
Прецизионные гранитные платформы и компоненты модернизируются по пяти основным направлениям: высокая точность, интеграция, интеллектуальность, экологичность и сервисизация. Основной движущей силой является жесткая
I. Материал и долговременная стабильностьПриродное старение, крайне низкое внутреннее напряжение: Высококачественный гранит (например, Jinan Black) подвергается геологическому старению в течение сотен миллионов лет, высвобождая
Проверка погрешности плоскостности гранитных платформ должна проводиться в соответствии с GB/T 20428-2006 “Каменные плиты ”* в приоритетном порядке. Распространенные методы включают электронный уровень
I. Требования к упаковке (доставка / транспортировка на дальние расстояния) II. Требования к хранению (складское хранение / хранение на месте) IМеры предосторожности при обращении и подъемеВозможность использования подъемных отверстий оригинальной конструкции.
